Главне компоненте скенирајућег електронског микроскопа укључују:
Извор електрона – Овде се термички генеришу електрони на напону од 1-40 кВ. Електрони се кондензују у снопове који се користе за креирање симулираних слика и анализа. Могу се користити три врсте извора електрона. е волфрамова жица, лантан хексаборид и пушка за прашину (ФЕГ)
Сочива – Има неколико кондензаторских сочива која фокусирају електронски сноп од извора кроз стуб у уски сноп, формирајући тачку која се зове величина тачке.
Завојница за скенирање – користи се за скретање зрака на површину узорка.
Детектор – састоји се од неколико детектора који могу да разликују секундарне електроне, повратно расејане електроне и дифрактоване повратно расејане електроне. Функционалност детектора у великој мери зависи од брзине напона, густине узорка.
Уређај за приказ (уређај за излаз података)
напајање
Вакуумски систем
Као трансмисиони електронски микроскоп, скенирајући електронски микроскоп не би требало да буде без вибрација и било каквих електромагнетних елемената.
